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山东净化车间为何要控制温湿度?

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山东净化车间为何要控制温湿度?

发布日期:2021-10-11 作者: 点击:

为什麽要控制山东净化车间的温湿度?首要任务是什么,具体措施是什么?

山东净化车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求确定的,在满足加工工艺的条件下,优先考虑人体舒服性。随著空气洁净度要求的提高,工艺对温度和湿度的要求也越来越高,须达到一定的温度等级。作为一个应用于大规模集成电路生产的光刻曝光工艺,用掩膜材料对硅片热膨胀系数要求不高。硅晶片直径为100毫米,上升1度,会导致0.24毫米线性膨胀。因此,须有0.1度的恒温,湿度值通常较低,因为出汗后会污染产品,尤其是半导体车间,因为害怕钠含量不应超过25度。高湿度带来了更多的问题。当相对湿度大于55%时,冷却水管壁上会结露,如果是在设备或电路中,会引起各种事故。相对湿度50%时容易生锈。


但是对大多数洁净空间来说,为了防止外来污染的入侵,须将内压(静压)保持在高于外压(静压)。保持压差通常应符合下列原则:

1.洁净度级别高的空间的压力比邻近的洁净等级低的空间的压力高。

2.洁净室之间的门要开到洁净等级高的房间里。

3.洁净空间压力大于非洁净空间压力。


压差的维持依赖于新风量,而新风量要能补偿在此压力差下漏出的风量。因此,压差的物理意义是指洁净室中的漏泄(或渗透)风量通过各种缝隙时的阻力。


对乱流青岛洁净室由于主要依靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要采用换气次数这个概念,而不是直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:

1.送风口出口风速不宜过大,与单纯空调室相比,要求速度衰减较快,扩散角较大。

2.吹过水平面的气流流速(如侧送时回流速度)不宜过大,以免将表面微粒吹回气流中,而造成再污染,一般不宜大干0.2m/s。

我们国家的《空气洁净技术措施》和《洁净厂房设计规范》都有这方面的规定。

竖直并流(层流)洁净室≥0.25m/s。

平流式(层流)洁净室≥0.35m/s。


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